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单晶硅炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,亦被称作单晶硅生长炉。单晶硅炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。
单晶硅炉为生产太阳能电池用的单晶炉,坩埚尺寸18-22英寸,产量从60-130Kg,单晶硅棒直径6.5-8英寸,设备高度为6.1-6.7米,主要可生产主流8英寸单晶硅棒。
型号 |
额定功率 |
额定温度 |
主炉室尺寸 |
熔料重量 |
单晶硅炉MSF-800B |
140KW |
1600℃ |
800×1050mm |
60KG |
单晶硅炉MSF-900B |
160KW |
1600℃ |
900×1050mm |
90KG |
单晶硅炉MSF-950B |
180KW |
1600℃ |
950×1050mm |
130KG |
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