SGM-TF60-12真空管式CVD
- 电炉类型:高温电炉
- 电炉名称:SGM-TF60-12真空管式CVD
- 电炉类型:管式炉
- 电炉品牌:西格马小型CVD管式炉
- 电炉规格:
- 电炉温度:1200℃
- 厂家电话:
洛阳西格马电炉
SGM-TF60-12-真空管式CVD为实验室用小型CVD管式炉,小型CVD管式炉有TF60-12管式炉、真空系统、3路混气系统组成。
小型CVD管式炉主要为高等院校、科研院所、工厂企业等行业实验室提供小型CVD管式炉高温热处理环境,可应用于金属材料、石墨材料、锂电材料、晶体材料等新材料领域。
结构特点
1、一体式结构,美观、大方,占用空间小。
2、炉膛材料选用高纯氧化铝陶瓷纤维材料,新型拼装结构,高温不变形、坚固耐用
3、 炉管采用石英管或者刚玉管,不锈钢法兰设计简单、合理、易拆卸,方便进出烧结样品
4、 升温速度快,从室温升到1000摄氏度,一般需要15-30分钟
5、 采用厦门宇电或日本岛电温控仪表,控温精度高,冲温小,具有温度补偿和温度校正功能,精度为±1℃
6、 控温仪表具有程序功能,可设定升温曲线,可编程序30个程序段
7、 电子元器件均采用产品,带有漏电保护功能,安全可靠
8、 本机对工作过程中的超温会发出报警信号,并自动完成保护动作
9、当仪表程序设定完成后,只要按下运行按钮,接下来的工作会自动完成
10、气路系统可选择一路或三路气体质量流量计,带混气系统也可单进单出,通入气体数字精度控制,流量开关和流量时间等程序可通过触摸屏自动控制,实现气路控制无人值守;精度:±1%F.S,响应时间:≤4sec
11、真空系统采用一台旋片式真空泵或真空机组,真空度测量采用数字复合真空计也可选择皮拉尼真空计,测量仪表集成在温控面板上,方便易操作
小型真空管式CVD
型号 |
SGM-TF40-12 |
SGM-TF60-12 |
SGM-TF80-12 |
SGM-TF100-12 |
SGM-TF120-12 |
炉管尺寸 |
Φ40x800mm |
Φ60x800mm |
Φ80x800mm |
Φ100x800mm |
Φ120x800mm |
额定温度 |
1200℃ |
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工作温度 |
1100℃ |
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加热区尺寸 |
300mm |
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电源电压 |
220V/1.8KW |
220V/2.6KW |
220V/2.6KW |
220V/2.6KW |
220V/5KW |
加热元件 |
HRE合金电阻丝 |
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炉膛材料 |
湿法真空抽滤成型制备的多晶无机氧化铝陶瓷纤维材料 |
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炉管材料 |
高纯石英管 |
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控温精度 |
±1℃ |
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测温元件 |
K型热电偶 |
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温控仪表 |
厦门宇电智能微电脑PID温控仪表,SCR/SSR控制,PID参数自整定功能;可编程序30个时段,程序升温、程序保温、程序降温 |
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升温速度 |
1-25℃/min自由调节 |
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炉体结构 |
炉膛温控一体式结构,炉膛开合式设计;双层外壳,空气循环隔热 |
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密封性能 |
炉管两端装有304不锈钢快捷法兰,配套高温 PTFE 垫圈,可在真空下进行工作, 密封真空度≤0.0001pa |
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气氛性能 |
法兰两端有进气口和出气口,压力表装在金属法兰上,精密针型阀可调节进气和出气量,可通入氮气、氩气、氢气等保护气体 |
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真空获得 |
配套立的真空获得系统,系统内配有1台双极旋片式真空泵和数字真空计,包括不锈钢波纹管和挡板阀等组件,系统真空度≤5pa,还可以选择分子泵机组 |
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气路系统 |
配套立的气路系统,系统有三路浮子流量计组成,有混气室,可单进单出也可三路气体混气后进入管式炉系统. 浮子流量计量程:60-600ml/min;也可选择自动质量流量计系统,控制精度±1.5%FS,重复精度±0.2%FS, 量程:一路0-100SCCM,二路0-200SCCM,三路0-500SCCM |
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设备保护 |
模块化控制,对工作过程中的超温、断偶会发出声光报警信号,并自动完成保护动作 |
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安全保护 |
在设备上装有空开断路器,如发生短路漏电情况时会自动弹开,能保护设备和操作人员的安全 |
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外壳 |
质冷轧钢板数控机床下料加工,经过焊接、打磨、抛光、磷化、酸洗、表面静电喷涂塑粉 |
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标准配置 |
1、炉体一台 2、温度控制器一台 3、电源线3米 4、热电偶一支 5、说明书一份 6、炉钩一把 7、高温手套一双 8、管堵二个 9、密封法兰一套 |
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