真空管式式除气炉为洛阳西格马高温电炉生产的特殊管式炉，真空管式式除气炉主要由炉体、真空抽气及放气系统、 智能控制系统构成。该管式炉采用卧式结构设计，一端配有法兰式工件托架，法兰上具有特殊的置物架，可以摆放烧结物或坩埚，可以自由移出移入到炉管内。

可以对试验过程中的真空度和温度进行有效地控制、监测和记录，具有结构简单、操作方便安全、外形美观等特点。

SGM TF1000度真空管式式除气炉主要为工厂、高等院校，科研院所等单位的实验室，提供具有高温、高真空、除气的试验环境， 广泛应用在半导体、航空航天、核能等领域。

结构特点：

1、管式炉加热温度大可1000℃，升温速率0～15℃/min可调；

2、管式炉采用对开式结构，开启方便，快捷；

3、均温区内温场均匀性±3℃，升温过程中，有效加热区平均升温速率≤4℃/min前提下，温度过冲不大于设置温度3℃；

4、炉管材质为大口径高纯石英，满足设备在百级洁净间下的使用要求；

5、工件托架采用304不锈钢或石英材质，可容纳直径200mm,12片晶圆；

6、设备可在高真空200℃情况下连续工作72小时以上，温度波动＜2℃；

7、真空室可充入氮气、氩气，流量精度可控, 加装分流装置，并设置挡板，防止充气过快对产品有冲击；

8、配分子泵真空度6×10-4pa；

9、配高精度铠装热电偶；

10、本设备可以根据用户需要提供定制；

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