硫粉预热器

电炉型号：SGM TF50-4

工作温度：350℃

设计温度：400℃

升温速率：＜30℃/min

推荐升温速率：10℃/min

控温方式：智能化30段可编程控制

工作电压：AC220 V

额定功率：800W

控温精度：±1℃

加热元件：电阻丝

双温区

硫化炉

电炉型号：SGM TF50-12CVD

技术参数：

额定功率(KW):3

额定电压(V):AC220v 50/60 Hz

设温度(℃):1200（1 hour）

持续工作温度(℃）：1100

升温速率（℃/min）：≤50

炉管尺寸（mm）：

高纯石英管Φ50×1500mm

加热区长度（mm）：440mm

恒温区长度（mm）:200mm

控温方式:模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

控温精度(℃):±1

加热元件:电阻丝

供气系统
SGM-3Z

三路质量流量计混气室

重量：35Kg

外形尺寸：600x600x650mm

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

标准量程（N2标定)：50sccm、200sccm、500sccm；
（可根据用户要求定制）

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

上限压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀：Φ6

低真空机组
VAU-02

技术参数：

空气相对湿度≤85%，

工作电电压：220V±10% 50~60HZ

功率：1千瓦

抽气速率：4L/s

极限真空：4X10-2Pa

实验真空度：1.0X10-1Pa

容油量：1.1L

进气口口径：KF25

排气口口径：KF25

转速：1450rpm

噪音：50dB

外型尺寸:450×180×240mm

配真空粉尘过滤器，DN25手动蝶阀用于控制炉管内压力，INFICON PCG554复合真空计