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RTP快速退火炉
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RTP红外灯管加热管式炉

  • 电炉类型:高温电炉
  • 电炉名称:RTP红外灯管加热管式炉
  • 电炉类型:管式炉
  • 电炉品牌:西格马RTP快速退火炉
  • 电炉规格:
  • 电炉温度:1100℃
  • 厂家电话:
RTP红外灯管加热管式炉又称RTP快速退火炉,为快速升温快速降温的加热炉,该快速退火管式炉为实验室用小型快速热处理管式炉,配有石英腔体和真空法兰,采用红外灯管加热,升温速度可达50℃/秒,30段可编程序,PID自动控制,它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计。

应用范围:

RTP红外灯管加热管式炉可在真空、气氛环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。

技术参数:

电炉名称

RTP红外灯管加热管式炉

电炉型号

SGMT1200-RTP

SGMT1200-RTP

SGMT1200-RTP

SGMT1200-RTP

设计温度

1200℃

1200℃

1200℃

1200℃

工作温度

1100℃

1100℃

1100℃

1100℃

石英管

Φ60

Φ80

Φ100

Φ120

恒温长度

300mm

300mm

300mm

300mm

温区长度

440mm

440mm

440mm

440mm

炉膛材料

氧化铝多晶纤维

氧化铝多晶纤维

氧化铝多晶纤维

氧化铝多晶纤维

加热元件

红外灯管

红外灯管

红外灯管

红外灯管

供电电源

220V/380V

50/60HZ

220V/380V

50/60HZ

220V/380V

50/60HZ

220V/380V

50/60HZ

升温速率

0-50℃/S

0-50℃/S

0-50℃/S

0-50℃/S

热电偶

K型

K型

K型

K型

密封方式

不锈钢密封法兰

不锈钢密封法兰

不锈钢密封法兰

不锈钢密封法兰

炉膛结构

开启式

开启式

开启式

开启式

滑动方式

左右滑动

左右滑动

左右滑动

左右滑动

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