滑道式管式炉又称炉膛可滑动式管式炉,炉膛可滑动式管式炉采用开启式炉膛结构,炉底安装滑轨,可移动炉体实现快速升降温,两端不锈钢密封法兰密封。多温区滑道管式炉有双温区滑道管式炉、三温区滑道管式炉、单温区滑道管式炉、cvd多温区滑道管式炉.
可在真空、气氛环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
电炉型号 |
SGM-MT80-12 |
SGM-MT100-12 |
SGM-MT150-1200 |
SGM-MT160-1200 |
设计温度 |
1200℃ |
1200℃ |
1200℃ |
1200℃ |
工作温度 |
1100℃ |
1100℃ |
1100℃ |
1100℃ |
石英管 |
Φ60/φ80 |
Φ100/φ120 |
Φ140 |
Φ160 |
单段温区长度 (可选) |
220mm |
220mm |
220mm |
220mm |
温区段数 |
双温/三温/四温/五温区 |
双温/三温/四温/五温区 |
双温/三温/四温/五温区 |
双温/三温/四温/五温区 |
炉膛材料 |
氧化铝多晶纤维 |
氧化铝多晶纤维 |
氧化铝多晶纤维 |
氧化铝多晶纤维 |
供电电源 |
110/220V 50/60HZ |
110/220V 50/60HZ |
110/220V 50/60HZ |
110/220V 50/60HZ |
升温速率 |
0-20℃/min |
0-20℃/min |
0-20℃/min |
0-20℃/min |
控温精度 |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
热电偶 |
K型 |
K型 |
K型 |
K型 |
加热元件 |
含钼电阻丝 |
含钼电阻丝 |
含钼电阻丝 |
含钼电阻丝 |
密封方式 |
不锈钢密封法兰 |
不锈钢密封法兰 |
不锈钢密封法兰 |
不锈钢密封法兰 |
炉膛结构 |
开启式 |
开启式 |
开启式 |
开启式 |
滑动方式 |
左右滑动 |
左右滑动 |
左右滑动 |
左右滑动 |
滑动方式 |
电动或手动 |
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