设备名称

实验室用小型管式PECVD系统

设备型号

SGM-TF60-12-3Z

高温管式炉

设计温度

1200℃

持续工作温度

≤1100℃

加热速率

20℃/min （建议10℃/min）

加热区长度

300mm 单温区

加热元件

含钼电阻丝

K 型热电偶

控温精度

±1℃

炉管尺寸

炉管直径Φ40，Φ60，Φ80

炉管材质

高纯石英

温度控制器

PLC触屏控制

真空法兰

真空法兰采用304不锈钢制作

· 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。

· 右端法兰设计为KF25接口，配有挡板阀和两个KF25卡箍

注：法兰可选结构，标准螺丝法兰，快接KF法兰，铰链法兰

输入电源

单相 220V, 50 Hz  功率：3KW

真空泵系统

分子真空泵

采用分子真空泵，真空度达6.67 x 10-3 Torr 2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连；

数字式真空显示计，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度可达0.1，测量不同气体种类不需要系数转换

等离子电源系统

工作频率

13.56MHZ+0.005%

工作模式

连续输出

供电电源/频率

单相交流 (187V-253V)50-60HZ

射频输出接口

UHF male

嘴大反射功率

＜2W

谐波分量

≤-50 (dBc)

电源保护设置

DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护

冷却方式

强制风冷

等离子电源功率可选

200w/300w/500w/1000w

触屏质量流量计

三通道精密质量流量计：液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体控制均可在不同气体中任意切换，无须人工换算；

1.MFC 1-MFC3：0-500sccm可调

2.3个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制3种气体；

3.进出气口：3进1出

4.连接方式：双卡套连接

注意事项

. 炉管内气压不可高于0.02MPa

· 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

· 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度＜1100℃

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。

若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）