快速加热、冷却滑动管式炉在炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加热和冷却速率大可达100°C/min。为取得快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/S，是低成本快速热处理的不错的炉子。

1100℃滑轨式管式炉

Slide rail tube furnace

 西格马滑轨式管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温的效果。适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。

The integrated structure design of Sigma sliding rail tubular furnace is used for the special process requirements of rapid temperature rise and rapid temperature drop below 1100 ℃, and the purpose of rapid cooling is realized by moving the furnace body. At the same time, the temperature can be set in advance and then moved to the sample to achieve the effect of rapid temperature rise. It is suitable for RTP process and CVD graphene process.

滑轨式管式炉特点

1、工作温度RT～1000℃。

2、智能程序控温仪控制精准,可编辑、储存并调用多段程序。

3、采用陶瓷纤维FEC加热模块，电阻丝内嵌式环绕加热。

4、炉壳结构，双层炉壳风冷结构。

5、不锈钢双层密封法兰，进、出气美标针阀。

6、两端可调节式法兰支撑结构，延长石英管的使用寿命。

7、超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断电。

8、安全保护当炉体漏电时自动断电。

额外选配    炉内测量系统（氧含量检测系统、温度检测系统）；

真空系统（旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组）；

气氛系统（浮子流量计、质量流量计）；

监控系统：（温度记录仪、触摸屏远程监控）；

           注：选件需配置拓展柜体；

技术参数

注：给出的额定温度为工作管外测定，其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。