电炉型号

SGMT-1200-60-PECVD

炉体结构

双层壳体结构，配有风冷系统

炉膛材质

日本技术真空吸附成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好

炉管材质

高纯石英管；可选外径Φ40/50/60/80/100*1200/1500mm

密封法兰

不锈钢快速挤压密封法兰

温控系统

温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制30段升降温程序；控温精度±1℃

显示模式

仪表面板显示

加热元件

质电阻丝0Cr27Al7Mo2

测温元件

K型热电偶（可选购增加内置热电偶，实时监测加热物料温度）

使用温度

额定温度1200℃，连续工作温度≤1150℃

升温速度

推荐≤10℃/min，设计快升温速度30℃/min

降温速度

700℃以上≤10℃/min

恒温区

加热区长度440mm，恒温区200mm

真空范围

0.1-0.001Pa

极限真空

4.0*10^-4Pa

电炉配置

双级旋片真空泵+分子泵

测量方式

复合真空计

真空规管

电阻规+电离规

射频电源

电源：单相50/60Hz220v±10%

射频电源

加热（功率）电源：2.5KW，25A

射频电源

控制柜电源空气开关：32A空气开关

射频电源

薄膜生长室温度：室温~1200℃

射频电源

射频频率：13.56MHz

射频电源

射频功率输出范围：5~500W

质量流量计

控制方式：质量流量计,流量显示仪（七星华创、美国Omega、日本Horiba）

质量流量计

流量规格0－500SCCM/0－1SLM,（可根据客户需要配置）

质量流量计

线性±1%F.S

质量流量计

准确度±1%F.S

质量流量计

重复精度±0.2%F.S.

质量流量计

响应时间≤2sec

质量流量计

耐压3MPa

质量流量计

气路通道双通道（根据客户需求）

机器电源

AC220V，50/60Hz；额定功率4kw

执行标准

GB/T10066.1-2004、GB/T10067.4-2005

标准配置

主机1台，密封法兰1套，“O”型圈4个，石英管1根，管堵4个，坩埚钩1把，说明书、合格证、保修卡各1份

可选混气

多通道浮子、质量混气系统

选购件

炉架，各种石英、刚玉坩埚，石英管，高温手套，计算机控制软件，无纸记录仪等。