双管滑轨RTP快速升温炉 BTF-1200C-III-SL
- 电炉类型:高温电炉
- 电炉名称:双管滑轨RTP快速升温炉 BTF-1200C-III-SL
- 电炉类型:实验电炉
- 电炉品牌:西格马
- 电炉规格:
- 电炉温度:℃
- 厂家电话:
主要特点
可根据用户需要设计生产(有双温区、三温区、多温区),可预抽真空(有高真空、低真空),通多种气氛(供气系统有质子流量器和浮子流量控制器)。真空泵、阀采用设备,性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。在预热方式上设有自动升温预热程序。在程序下完全不需要操作人员监看、调整工作电流,可将工作人员从繁琐的操作中解放出来。
技术参数
额定功率 |
KW |
7 |
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额定电压 |
V |
AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz |
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额定温度 |
℃ |
1200(1 hour) |
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工作温度 |
℃ |
≤1100 |
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设计快升&降温速率 |
℃/S |
≤20 |
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炉管尺寸 |
mm |
高纯石英管异形内管尺寸:Φ100×1000mm,外管尺寸:Φ130×1800mm |
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加热区长度 |
mm |
300+300+300 |
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恒温区长度 |
mm |
150+200+150 |
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可移动范围 |
mm |
1760 |
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控温方式 |
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模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 | ||||||
控温精度 |
℃ |
±1 |
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加热元件 |
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电阻丝(康泰尔电阻丝) |
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法兰 |
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质量流量计量程 |
50sccm,100sccm,100sccm,200sccm.(量程可根据客户要求配置) |
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标准配置 |
石英管2根(内管和外管各1根),不锈钢密封法兰1套,硅胶密封圈2套,氧化铝管堵2只,高温手套1副,坩埚钩1支 | |||||||
可选附件 |
石英托架,石英舟,石英钩,电阻真空计,手动挡板阀,波纹管,卡箍,真空泵,供气系统 | |||||||
认证标准 |
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尺寸 |
mm |
1080×440×590mm(电炉) 2000×490×760mm(电炉+滑轨) |
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包装尺寸 |
mm |
2070×570×1110(木箱包装) |
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净重 |
Kg |
195 |
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毛重 |
Kg |
260 |
产品名称 |
产品型号 |
产品图片 |
产品尺寸 |
小型滑轨炉 |
SGM TF-1200C-S-SL |
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单温区滑轨炉 | SGM TF-1200C-SL | ||
双温区滑轨炉 |
SGM TF-1200C-II-SL |
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三温区滑轨炉 |
SGM TF-1200C-III-SL |
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多种辅助功能选配区
CVD系统 |
PECVD系统 |
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