1200度小型三温区回转炉\可倾斜可旋转管式炉
1200度气氛保护回转炉\电加热回转炉
1400度实验室回转管式炉\1400度可旋转真空管式炉
1100℃实验室用1100度小型回转炉\旋转管式加热炉
2200度真空钨丝炉\2200度钨丝加热真空烧结炉
STR TF1400/50 Tube furnaces管式炉
1000℃高温马弗炉3升|STR M3L-10 Muffle furnaces
1200度箱箱式炉\箱式实验炉
1400度箱式马弗炉\箱式实验炉
1700度高温箱式炉\高温箱式实验炉
1200度井式晶体生长炉STR1200-JSL15
实验室混气系统:三路质子气体流量控制器
1200度井式气氛炉SN1200-JZ20
迷你型RTP快速退火炉\小型红外加热快速退火炉
250度真空干燥箱
2L小型等离子清洗机
5L不锈钢腔体等离子清洗机
10L等离子清洗机
13.56MHz 5L 等离子清洗机
三路混气系统:三路浮子流量控制器
1200-PE60 PECVD系统:1200℃管式炉+三路供气系统
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